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可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具


Park NX20 300mm是業界靠前大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。


新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個

300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創 新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。


經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求,并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。


通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面,用戶可以在整個300mmx300mm區域輕松實現可靠與可重復的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的優選。




專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進行了全新設計,可達到大樣品的*佳測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精 確地開展工作。



靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。


300mm XY軸工作臺


機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區域內移動原子力顯微鏡的測量位置。



 

NX20 支持300mm樣品臺,性能已被證實

因其無 與倫比的易用性和自動化以及不受影響的精度,NX20已是FA、QA和QC工程師的*佳選擇。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺,NX20 300mm更上一層樓,允許用戶輕松地以極高的精度檢測更大的樣品。



Park SmartScan?讓精 確測量更為簡單


Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統,使其成為市場上*易于使用的原子力顯微鏡之一。

通過直觀且極為強大的界面,即便是未經培訓的用戶無需協助也可快速掃描大樣品。這使上等工程師能夠集中精力解決更大的問題和開發更好的解決方案。




a、在完整300mm晶圓上掃描多個位點
SmartScan?允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上,借助基于網格和晶圓的模式,進行自動順序測量與表面形態、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產效率。
b、強大的工作創建功能
格式創建流程簡單,允許工程師設置每個批次的位置、名稱、數量和類型所定義的預設。

針對廣泛應用性進行優化

NX20 300mm為眾多應用提供自動格式的原子力顯微鏡測量,為納米級的樣品提供上等測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量,缺陷檢查,電氣和磁故障分析,熱性能表征和納米力學性能成像等能力,該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執行各種任務的理想選擇。

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