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針對失效分析和大樣本研究的原子力顯微鏡


作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20這款全球精密的大型樣品原子力顯微鏡,憑借著出色的數據準確性,在半導體和超平樣品行業中大受贊揚。

    
大**的分析功能

Park NX20具備有一無二的功能,可快速幫助客戶找到產品失效的原因,并幫助客戶制定出更多具有創意的解決方案。

****的精密度為您帶來高分辨率數據,讓您能夠更加專注于工作。與此同時,真正非接觸掃描模式讓探針**更鋒利、更耐用,無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和**。

                      易于操作
ParkNX20擁有業界便捷的設計和自動界面,讓你在使用時無需花費大量的時間和精力,也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點,您可以更加專注于解決更為重大的問題,并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

為FA和研究實驗室提供**的形貌測量解決方

樣品側壁三維結構測量


NX20的創新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面,并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創新性研究和敏銳洞察力所必備的。


對樣品和基片進行表面光潔度測量


表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一,能夠帶來**的失效分析和質量保證。



高分辨率電子掃描模式


QuickStep SCM

掃描式電容顯微鏡


PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡



多種獨有的磚利技術幫助顧客減少測試時

CrN樣品所做的針尖磨損實驗


通過對比重復掃描情況下探針**的形狀變化,您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優勢所在。

               

AFM測量


借助真正非接觸模式,探針**在掃描氮化鉻樣品(即探針檢測樣品)200次后仍可保持鋒利的狀態。

氮化鉻的表面粗糙且研磨性強,會讓普通的探針很快變鈍。



低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器,噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像,沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數據的同時也為您節省了寶貴的時間。
· 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量    
· 在大范圍掃描過程中系統Z向噪音小于0.02 nm
        · 沒有前沿或后沿過沖現象
· 無需校準,減少設備維護成本

Park NX系列原子力顯微鏡



傳統的原子力顯微鏡



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