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在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎上,進一步提高了分辨率


為提高分辨率,提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面,超聲波在傳播介質中的衰減越來越大,信噪

比降低的弊端變大,所以在檢查用途方面,300MHz前后是實用的*高頻率。



300MHz頻率的超聲波,在*佳條件下,僅 限于5μm左右寬度的線型識別,對于正在應用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結構體的檢查時,可能無法適用。
FineSAT HR開發了新型電路、提高了分辨率,成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。

產品構成:

FS100ⅢHR FS200ⅢHR FS300ⅢHR
支持探頭頻率(MHz) 5~75 5~140 5~300

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