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FS LINE采用大型掃描儀和大型水槽


可應對FineSAT系列裝置不能應對的大型對象物(如FPD、面向太陽能電池的濺鍍靶材、陶瓷零部件等不斷大型

化的材料、零部件)的檢查。

除了單焦點探頭用的FS LINE以外,還準備了同時使用單探頭和陣列探頭,可以縮短大型對象物的檢查時間的FS LINE Hybrid。
同時,作為選購件,還準備了用于檢查筒狀/圓柱狀對象物的表面的旋轉臺。關于水槽和掃描儀尺寸,也請隨時咨詢。



FS LINE FS LINE Hybrid
探頭方式 單探頭的機械掃描方式 支持機械掃描或相控陣探頭電子掃描兩種方式
接合部分的檢查時間事例(*) 約10分鐘 1分30秒
(通過相控陣探頭的電子掃描進行測定)

*(測定范圍2,500×300mm、2mm間距掃描時)


特點、規格:


FS LINE能進行高精度的測定,還擁有基于FineSAT的使用方便性,並重視**性。
FS LINE Hybrid在低頻范圍的陣列探頭上實現了高阻尼化。 這樣,可同時進行靶材和背板的接合檢查和靶材內部的孔隙檢查。
而且,單焦點探頭難以檢查的邊緣斜面用斜角電子掃描也可進行檢查。
型號 新型裝置
同時發送接收數量 *多32個振子
支持振子數 *多128個振子
陣列方向電子聚焦 可編程
接收范圍 5, 10, 15MHz
FS LINE Hybrid規格(陣列相關)
斜角電子掃描聲束控制示意圖


掃描儀有效掃描范圍:


有效掃描范圍
750×800
1,550×2,000
4,000×2,000
(単位:mm)

有效掃描范圍4,000×2,000的事例


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